具有濺射鍍膜、蒸鍍、脈沖碳蒸鍍?nèi)齻€工作模式；精細(xì)顆粒濺射可應(yīng)用于高分辨率場發(fā)射掃描電鏡（FE-SEM）制樣的精細(xì)鍍膜；以及多種導(dǎo)電材料薄膜制備；碳蒸鍍對SEM和TEM碳膜應(yīng)用非常理想；蒸鍍模式用于高質(zhì)量金屬材料薄膜制備。
