| 專利名稱 | 一種可制備多級微結構的裝置 | ||
|---|---|---|---|
| 申請?zhí)?專利號 | CN202110249538.6 | 專利權人（第一權利人） | 長春工業(yè)大學 |
| 申請日 | 2021-03-06 | 授權日 | 2024-07-12 |
| 專利類別 | 授權發(fā)明 | 戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)分類 | 高端裝備制造 |
| 技術主題 | 微觀結構|固定框架|滑動觸點|底板 | ||
| 應用領域 | 光機械設備 | ||
| 意向價格 | 具體面議 | ||
| 專利概述 | 本發(fā)明涉及一種可制備多級微結構的裝置，屬于納米壓印領域?？缮灯脚_一固定在機架的左側板上，可升降平臺二固定在機架的右側板上，微調(diào)節(jié)裝置一通過螺釘固定在可升降平臺一上，微調(diào)節(jié)裝置二通過螺釘固定在可升降平臺二上，固定架左側通過螺釘與可升降平臺一連接、右側通過螺釘與可升降平臺二連接，壓印裝置通過圓柱卡扣與固定架滑動接觸，支撐臺通過螺釘固定在XY位移平臺上，XY位移平臺通過螺釘固定在機架的底板上。優(yōu)點是堆疊精度高，使光輥上的微結構與平面襯底更好的線性接觸，提高了堆疊的精度；便于多層堆疊：能夠將光輥上壓印好的單層微結構在平面襯底上進行不同層數(shù)的堆疊，使得制備多級微結構不受裝置的限制。 | ||
| 圖片資料 |
|
||
| 合作方式 | 具體面議 | ||
| 聯(lián)系人 | 戚梅宇 | 聯(lián)系電話 | 13074363281 |
