專利名稱 運(yùn)動工件飛秒激光加工中橢圓運(yùn)動曝光方法及系統(tǒng)
申請?zhí)?專利號 CN201510621717.2 專利權(quán)人(第一權(quán)利人) 長春工業(yè)大學(xué)
申請日 2015-09-27 授權(quán)日 2017-03-22
專利類別 授權(quán)發(fā)明 戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)分類 高端裝備制造
技術(shù)主題 光通量|激光加工|工作臺|機(jī)械加工|飛秒激光|飛秒
應(yīng)用領(lǐng)域 激光焊接設(shè)備
意向價格 具體面議
專利概述 本發(fā)明涉及一種運(yùn)動工件飛秒激光加工中橢圓運(yùn)動曝光方法及系統(tǒng),屬于飛秒激光加工技術(shù)領(lǐng)域。橢圓運(yùn)動工作臺安裝運(yùn)動臺之上,在三維橢圓運(yùn)動工作臺的驅(qū)動下,待加工件相對于沿X和Y向進(jìn)給的運(yùn)動臺以平動的方式作高頻三維橢圓運(yùn)動,通過調(diào)整橢圓運(yùn)動頻率和幅值,使待加工件中預(yù)期曝光位置p的瞬時速度沿X和Y向的投影分量和在橢圓的上頂點(diǎn)或下頂點(diǎn)處分別與運(yùn)動臺沿X和Y向的進(jìn)給速度大小相等、方向相反,從而使得激光束相對于運(yùn)動工件獲得具有足夠光通量的擬靜態(tài)駐留;通過改變橢圓運(yùn)動幅值可以調(diào)整相鄰兩個曝光位置的距離。所述方法及系統(tǒng)在飛秒激光加工中易于實(shí)施,可以在工件作快速進(jìn)給的過程中對工件中預(yù)期曝光的位置進(jìn)行高效曝光。
圖片資料 運(yùn)動工件飛秒激光加工中橢圓運(yùn)動曝光方法及系統(tǒng)
合作方式 具體面議
聯(lián)系人 戚梅宇 聯(lián)系電話 13074363281