高端裝備制造
一種用于雙光子聚合加工的三維橢圓運動工作臺
本發(fā)明涉及一種用于雙光子聚合加工的三維橢圓運動工作臺,屬于超精密加工領域。由X向、Y向、Z向三個壓電疊堆驅動具有柔性鉸鏈結構的工作臺,可實現X、Y、Z三個方向的微動,三個壓電疊堆分別由預緊螺釘進行預緊,工作臺的各個方向由單獨的壓電疊堆驅動,避免了其他方向運動對該驅動方向的擾動;對三個壓電疊堆通以頻率相同而相位差不為零的驅動信號,可以實現工作臺在空間的二維橢圓運動或三維橢圓運動,通過控制橢圓運動參數,可調整橢圓的方位和大小,工作臺X向、Y向的柔性鉸鏈采用直梁式鉸鏈首尾相連組合而成;本發(fā)明涉及的工作臺加工簡單,體積較小且有較好的載物空間,可實現高頻、連續(xù)的三維橢圓運動。
長春工業(yè)大學
授權發(fā)明